Edwards成為450mm晶圓制造設(shè)備聯(lián)盟的創(chuàng)始成員
真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相關(guān)增值服務(wù)全球供應(yīng)商Edwards 集團(tuán)有限公司近加入了一個(gè)由全球十家半導(dǎo)體設(shè)備公司組成、旨在組建450mm晶圓制造設(shè)備聯(lián)盟(F450C)的工作組。這是全球450聯(lián)盟(G450C)的一個(gè)分小組,其建立是為了解決下一代450mm半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)施的復(fù)雜和基礎(chǔ)設(shè)施要求。
F450C辦公地點(diǎn)位于紐約州立大學(xué)阿爾巴尼分校的納米科學(xué)和工程學(xué)院(CNSE),其成立是為了必要的關(guān)鍵設(shè)備,以確定有競爭力的設(shè)備解決方案,從而使450mm晶圓制造得以實(shí)現(xiàn)。Edwards 是聯(lián)盟中一家代表真空和尾氣處理設(shè)備的公司,這體現(xiàn)了Edwards公司在半導(dǎo)體行業(yè)以及其他應(yīng)用中的長期經(jīng)驗(yàn)和地位。
Edwards公司CEO Jim Gentilcore 評論道:“我們對于F450C聯(lián)盟內(nèi)部的合作機(jī)會感到很高興,Edwards將可以把在真空和尾氣處理的專長和應(yīng)用到產(chǎn)業(yè)的下一個(gè)變革。聯(lián)盟成員之間的協(xié)作將是理解過渡中的各方面實(shí)際需求的關(guān)鍵,也將終實(shí)現(xiàn)由450mm晶圓制造工藝所帶來的生產(chǎn)效率提高?!?/span>
G450C 主要為450mm制造設(shè)備和工藝提供指導(dǎo),而F450C的目標(biāo)則是向450mm晶圓制造過渡過程中必不可少的配套設(shè)備和基礎(chǔ)設(shè)施方案。這些方案可以解決更多出450mm晶圓生產(chǎn)帶來的制造難題,因?yàn)橄乱淮圃旃S帶來了設(shè)施設(shè)計(jì)、基板處理、工具連接、化學(xué)品分送、水和電氣系統(tǒng)以及許多其它的新挑戰(zhàn)。
2013年6月28日,紐約州州長Andrew M. Cuomo宣布,F(xiàn)450C在紐約州立大學(xué)納米科學(xué)和工程學(xué)院(CNSE)的成立帶來500多萬美元的新私人投資,并創(chuàng)造了多達(dá)150個(gè)工作崗位。
在SEMICON West 2013展覽會期間將會舉辦一個(gè)450mm制造EHS論壇(450mm Manufacturing EHS Forum),屆時(shí)將討論隨著制造商轉(zhuǎn)向450mm晶圓工藝而帶來的環(huán)境、健康和(EHS)問題,以及所產(chǎn)生影響和挑戰(zhàn)。Edwards將在論壇上做題為“綠色模式:集成實(shí)現(xiàn)電力(Utility)節(jié)省”的報(bào)告。